Integrated micro-plasmas in silicon operating in helium
R. Dussart, L. J. Overzet, P. Lefaucheux, T. Dufour, M. Kulsreshath, M. A. Mandra, T. Tillocher, O. Aubry, S. Dozias, P. Ranson, J. B. Lee and M. Goeckner
Eur. Phys. J. D, 60 3 (2010) 601-608
DOI: https://doi.org/10.1140/epjd/e2010-00272-7